半導體制造

 

　　Semiconductor Manufacturing

 

　　半導體短缺和半導體更小的工藝節(jié)點競爭。集成電路(IC)的短缺要求從制造過程中獲得更多的產出，因此行業(yè)領導者則在競爭更小的工藝節(jié)點。這些挑戰(zhàn)要求對空氣中的顆粒物污染進行監(jiān)測，以確保產品無風險，產量(產品良率)提升，順利通過潔凈審核。TSI通過我們的高靈敏度粒子計數器提供從納米粒子到亞微米粒子等完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案，滿足半導體短缺和更小工藝節(jié)點的競爭需求。

 

　　

 

　　TSI 10 nm潔凈室凝聚核粒子計數器(CPC)和0.1 μm粒子計數器(手持式粒子計數器和遠程粒子計數器)是滿足半導體行業(yè)關鍵需求的最佳組合。

 

　　TSI 提供高靈敏度粒子計數器近60 余載，比任何其他粒子計數器公司歷史更悠久。TSI儀器被用于世界各地國家級標準實驗室，這些實驗室要求卓越的準確性、重復性和可靠性。 絕不妥協于任一制造過程——相信TSI會監(jiān)測到一切。

 

　　獨一無二的10nm測量

 

　　0.1 μm塵埃粒子計數器不能檢測納米級粒子污染物-你需要CPC(凝聚核粒子計數器)。利用我們在CPC技術上數十年的經驗，TSI AeroTrak® 9001潔凈室凝聚核粒子計數器(CPC)是專為超潔凈半導體制造提供可靠的、實時的納米粒子檢測，0.1 CFM流量用于檢測空氣或惰性壓縮氣體中的顆粒。